STEM-ACOM / Nanobeam diffraction mapping
STEM自動結晶方位マッピングによるナノスケール組織解析
STEM-ACOM（Automated Crystal Orientation Mapping）は、TEM内で細く絞った電子線を走査し、各点で得られる電子回折図形から結晶方位や相を解析する手法です。EBSDでは分解能が不足する微細組織や、薄膜・ナノ結晶・強加工材の局所方位解析に有効です。当研究室では、超伝導薄膜、伸線パーライト鋼、磁性薄膜などを対象に、ナノスケールの配向、粒界、結晶方位分布を解析しています。
研究のポイント
ナノスケールの方位分布
数nmスケールの電子線回折情報から、微細結晶粒や柱状晶組織の方位分布を可視化します。
機能特性との関係解析
超伝導薄膜のc軸配向や小角粒界ネットワークなど、機能発現に関わる結晶配向を定量的に評価します。
強加工材・薄膜への応用
伸線パーライト鋼やFePt-C薄膜など、従来法では解析が難しいナノ組織に適用しています。
関連論文・関連情報
本テーマに関連する主な論文・関連情報を以下に示します。