電子顕微鏡共同利用について
当研究室では、総合理工学研究院設備である電子顕微鏡を中心とした先端的な研究設備を活用し、材料のナノ構造解析を行っています。以下の設備の共同利用をご希望の方は、波多までお問い合わせください。
使用規定は、こちら をクリックしてご確認ください。
共用電子顕微鏡施設の紹介動画を撮りました。YouTubeでご覧いただけます（2020.7.17）
透過型電子顕微鏡（TEM）
JEOL JEM-ARM200F
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- 高分解能走査透過電子顕微鏡観察
- エネルギー分散X線分光（EDS）
- 格子歪みマッピング（ナノビーム電子回折）
- プリセッション電子回折(SPED)
FEI(ThermoFisher) Titan cubed G2
- 高分解能走査透過電子顕微鏡観察
- 電子線トモグラフィー（3D-ET）
- エネルギー分散X線分光（EDS）
- 電子エネルギー損失分光（EELS）
TEM用試料ホルダー 一覧
- 高角度三軸ホルダー
- 高傾角冷却ホルダー（液体窒素用）
- 二軸傾斜冷却ホルダー（液体窒素用）
- 高傾角カートリッジ型応力印可ホルダー
- 二軸傾斜MEMSチップ型加熱ホルダー
各種特殊試料ホルダーの多くはMel-Build Co.(福岡)との共同開発
集束イオンビームー走査電子顕微鏡（FIB-SEM）
FEI(ThermoFisher) Helios 5 Hydra CX
- プラズマイオンビーム源(Xe, Ar, O, N)
- エネルギー分散X線分光
- 電子後方散乱回折
- 飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）
- グローブボックスからの真空移送機構
FEI(ThermoFisher) Scios
- Gaイオンビーム
- エネルギー分散X線分光
- 電子後方散乱回折
- 冷却ステージ
FEI(ThermoFisher) Versa 3D
- Gaイオンビーム