概要
電離反応工学研究室（山形・堤井研究室）では、プラズマやレーザーを用いたプロセス技術や先進デバイスの開発に取り組んでいます。
はじめに
電離反応を利用したプラズマプロセスは、通常の環境下では起こらない物理・化学的効果を発現可能であり、エレクトロニクス・材料分野から宇宙開発・環境・エネルギー分野まで、持続可能社会を支える最先端技術です。私たちはプラズマやレーザーを駆使した各種プロセスの開発・最適化やデバイス性能の解析、新種の光源開発や環境汚染物質の分解・除去、過酷な環境下で使えるエレクトロニクス材料・デバイスやヒトにやさしいバイオ機能材料・デバイスの開発など、次世代を切り拓く先端的研究に取り組んでいます。
主な研究テーマ
- プラズマ／レーザープロセスのレーザー計測法によるパラメータ計測と反応制御
- パルスレーザー計測法による窒化物半導体の温度／歪みの非接触測定法の開発
- ナノ構造複合膜を用いた高性能電子エミッターの開発
- ナノ構造体と半導体デバイスを用いた高性能ガスセンサーの開発
- ワイドバンドギャップ半導体を用いた高温ダイオードおよび高温キャパシターの開発
- 超硬質材料の表面機能制御とバイオ機能評価
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